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全自動硅片去PSG清洗機HYB-4000T

設備用途:硅片去磷硅玻璃清洗

清洗能力: 4000PCS/1h


詳細介紹:

工藝規程

序號

工序方法

工序說明

清洗劑

工序時間

工作溫度

活動蓋板

1

酸洗

浸泡

HF

4min

常溫

2

漂洗

浸泡+鼓泡

純水

常溫

3

漂洗

浸泡+鼓泡

純水

常溫

4

漂洗

噴淋

純水

常溫

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