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全自動單晶硅片制絨機HYB-9096T

設備用途:硅片預清洗和單晶制絨

生產節拍:610分鐘

裝機容量:  185KW(380V 50HZ)

溫控:采用PID控溫,可精確控制液體溫度0.5

排風量:  6000立方米/小時 

設備外形尺寸:(L×W×H  9300×2200×2300mm

清洗能力:4000PCS/1h


詳細介紹:

工藝規程

槽號

工序

方法

工序

說明

處理液

工作

溫度

(℃)

工序

時間

min

加熱

均熱板

清洗

功率

KW

加熱器

材質

1

清洗

超聲

5090

610

24

不銹鋼

2

漂洗

超聲

DI

5090

610

24

不銹鋼

3

制絨

浸泡

 

8090

3040

24

不銹鋼

4

制絨

浸泡

8090

3040

24

不銹鋼

5

制絨

浸泡

8090

3040

24

不銹鋼

6

制絨

浸泡

8090

3040

24

不銹鋼

7

清洗

浸泡

4090

610

24

不銹鋼

8

漂洗

漂洗

DI

常溫

610

9

漂洗

漂洗

DI

常溫

610

 



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